負(fù)壓空氣流量測量對象并不多，常見于需要負(fù)壓空氣的生產(chǎn)流程，如卷煙的生產(chǎn)過程中。負(fù)壓空氣同樣是含能工質(zhì)，對負(fù)壓空氣的耗量進(jìn)行計量，以便進(jìn)行能耗考核。
1、負(fù)壓空氣流量測量的特點。
（1）不允許流量測量引入明顯的壓力損失。負(fù)壓空氣的負(fù)壓來自真空泵，很多臺功率很大的真空泵所產(chǎn)生的負(fù)壓只有負(fù)幾十千帕，例如進(jìn)口絕壓力為30kPa的真空泵，由強(qiáng)大動力轉(zhuǎn)換成的負(fù)壓只有-70kPa，如果負(fù)壓管道上安裝流量計后增大了阻力，產(chǎn)生較大的壓損，將使動力損耗大大增加，這是與節(jié)能的宗旨背道而馳的。
（2）流量密度小，為儀表選型帶來困難。
（3）流量計在負(fù)壓管道上安裝后，如果存在泄漏，很難察覺，在不知不覺中，浪費了動力。
2、流量計選型。
由于上述第一個特點的約束，孔板流量計、渦輪流量計、容積式流量計等被否定掉。由于第二個特點的約束，渦街流量計的選擇也被否定掉了。因為在安裝流量計處的管道內(nèi)，絕壓為30kPa的流體，其密度只有常壓條件下空氣密度的1/3，流體旋渦對傳感器的推力相應(yīng)變小，因此無法測量。
超聲波流量計，就第一個約束條件而言，是個很理想的選擇，但需經(jīng)過聲阻抗校核，由于第二個特點的存在，具體測量點的聲阻變得很小，以致產(chǎn)生阻抗匹配困難的問題。所謂聲阻抗是指介質(zhì)對聲波傳遞的阻尼和抵抗作用，它等于聲壓與介質(zhì)容積位移速度之比。在超聲波流量測量中，聲阻抗與聲速成正比，與流體密度成正比，所以被測介質(zhì)的絕壓越低，聲阻抗越小。
均速管差壓流量計，對于負(fù)壓空氣流量測量的特點，均速管流量計是個很好的選擇，但常用工況條件下的差壓值需要計算，因為在流體密度較小工況條件下，差壓值往往很小，如果在50Pa以下，儀表的穩(wěn)定性將會變得不理想。
在均速管差壓流量計中，有一種檢測桿截面形狀為“T”形的設(shè)計，其輸出差壓值約為普通菱形截面檢測桿的2倍，能很好地解決這一問題。第三代T形均速管差壓流量計，其跨越整個管道的高壓取壓槽的設(shè)計，使得它有很好的抗堵性。一些雜質(zhì)的吸附，不會帶來大的測量誤差。在應(yīng)用T形均速管測量負(fù)壓空氣流量時，往往配用3095MV多參數(shù)流量變送器（或其他型號的多變量變送器），這種變送器內(nèi)置了0.065％精確度的差壓變送器，0.065％精確度的絕壓變送器、溫度變送器、高速CPU和大容量數(shù)據(jù)存儲器，對流體流量進(jìn)行實時、動態(tài)的完全補(bǔ)償計算。
